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    同时极紫外光刻机的光路系统要求考虑的因素非常多,因为极紫外光刻机的光子能量非常高,几乎所有的材料都会吸收极紫外光。

    而吸收了极紫外光必然会发热,发热就会带来材料的变形。对于需要纳米级成像的光刻机来说,简直就是灾难,基本就无法使用了。

    如果不加控制,光路系统还有被烧毁的风险。

    所以极紫外光刻机里,光源和每一面镜子的背后都有非常高效的冷却装置,把极紫外光照射产生的热量及时带走。

    最后,光刻机研发真正困难的是成像质量补偿。光刻机对光刻图形的要求是近乎完美的,但设备的生产是不可能做到完美的,镜头使用的材料不可能做到完美。

    镜头打磨不可能做到完美,镜头组装也不可能做到完美。同时镜头材料和支撑材料都必然存在热胀冷缩的问题。

    这些问题都会给最终成像效果带来误差,而且很多成像误差是不断变化的。

    必须通过一系列办法进行校准和修正,甚至要求通过软硬件结合的自动化控制来实现实时成像补偿,这才是真正的难点。

    还需要大量精密控制装置的支持专利。不仅实现起来非常困难,还要面临大量的专利陷阱。

    这光刻机,本来就是十几个发达国家,联合研制出来的一个产品,涉及到的行业之广,设计到的仪器之顶尖,都是咱们暂时达不到的。

    只能说咱们开局太晚了啊!综合那么多高端的精密仪器,我们搞不来……”

    陈小川听了之后点点头,众人也是听的云里雾里,但是最终还是知道一个结论,

    这光刻机,不好造!

    但是陈小川又说:

    “李院士说得对,也是说的很全面。这的确是我们的一个不足之处,不,这是我们的很多不足之处。

    我们没有那么多高端的仪器制造,没有那么精密的仪器,设备,甚至在光学上,我们也比不过卡尔蔡司。

    但是咱们华夏人最不缺的就是创新精神,难道说咱们这芯片制造只能依靠光刻机吗?

    没了张屠夫,咱们就要吃带毛猪?不,不可能,一定有其他的替代方案。

    光刻机的复杂和精密以及小型化是他的一大优点,但是我觉得这也正是他们光刻机的一个缺点。

    正是因为他们要把光刻机当做一个商品售卖,所以他们不得不做的精细,做的方便运输,所以一定要适合运输,只能做那么大一点儿~”

    听了这个回答,李院士也是点点头,然后李院士说:

    “是的,小川说的对,光刻机可以说是工业上的一颗明珠,是高端科技的集大成者!!

    但是荷兰生产的光刻机基本上是外贸型的光刻机,产品不是送到鹰酱,就是送到湾湾那边。

    所以在体积上做的不是很大,毕竟要通过海运从荷兰运到别处。

    但是送到我们这里的光刻机,都不是最新一代的光刻机,都要比最新一代落后一代或者两代才行,这就是为了让华夏的芯片产业,永远落后于鹰酱等西方国家。

    这可以说是一个阳谋,但是我们之前没法破解,因为我们没有光刻机的核心技术。”

    陈小川听了也是点点头:

    “李院士说的对啊!

    但是我这里要说的是,小,虽然是光刻机的一大特点,但这也是他的悲哀之处!

    这同时也是一个没有广袤国土,没有巨大的人口规模,没有巨大的消费市场的国家的悲哀!

    他们没有那么大的市场来承担光刻机大型化,甚至巨型化带来的后果,但是我们能啊!”

    “我们拥有广袤无垠的国土面积,拥有巨大的人口基数,拥有全世界消费潜力最大的市场!这就让这种光刻机巨型化有了用武之地啊!

    难道这种先进技术也要出口吗?根本用不着!”

    “所以,我们要制造芯片,就要符合我们的国情!!

    我们没有超高精密仪器,难道就不能粗糙一点?

    我们没有制造那么小的光刻机的能力的话,那么我们做一个光刻厂呢?

    把光刻机的小型激光辐射,变成巨大的光源辐射,我们也应该能够做到吧!

    嘿嘿!”

    “光刻厂??”

    “光刻厂?”

    “那得是费老鼻子电了吧!?光刻机一天都是几万度电啊……”

    “是啊,光刻机这一块儿就挺费电的了……”

    一些院士忍不住说出光刻厂的缺点之一——费电!

    陈小川却是嘿嘿一笑:

    “嘿嘿,李院士,您忘了咱们这两年建造的光伏电厂了吗?咱们的电多啊,便宜啊!

    您家里电费怕是便宜了一半不止了吧啊。

    上边正愁咱们这电用不完咋办,这不,这耗电大户这不就来了吗?

    这光刻厂一建成,那相应的其他配套产业链也该扩建了吧!嘿嘿,这得用多少电啊,那不得一年几千亿度电?

    可是咱们今年预估的发电量就是十二万亿度电,这点儿还不够塞牙缝儿呢!”

    “哪怕光刻厂一天用一千万度电,那也才几百万的成本不是?谁家电力有咱们便宜?”

    各位院士听了若有所思,这个巨型化方案,好像也不是不能行!

    陈小川又是一剂猛药下去

    啪的一声

    “各位看一看这篇还没有发表的论文:《稳态微聚束加速器光源》,看看这个理论可以吗?”

    说完之后,全场十几台华威电脑屏幕上就出现了这篇论文,院士们也是抓紧看了起来,这东西不得了啊!

    在大佬们都在看论文的时候,陈小川还在叭叭叭的说:

    “我将光刻厂理解为,力大飞砖,大炮打蚊子!!

    其他的不管,只要能够造出来芯片,那就是好厂子………”

    鸦雀无声~~~

    因为在论文发出后,现场根本就没有人鸟陈小川,都在聚精会神的看论文,看一下可行性大不大,谁还有空听他吹牛啊!

    只留下陈小川和余成栋尴尬的对视,余成栋抖抖肩膀,怪我咯?

    一时间房间里发出各种惊讶的声音

    “还能这样!?”

    “哦!原来是这样?”

    “嗯,这个思路也蛮不错!”

    “唉,这个可以啊!”

    “这个思路还行啊~~”

    “简直是石破天惊啊~~这设计简直太巧妙了!”

    ~~~~

    三个小时后,众人讨论出一个惊讶的结果!

    这个光刻机巨型化的方案可行!

    也就是说,陈小川所谓的力大飞砖,大炮打蚊子的论断没有错!

    这就像啥?就像啥来着?

    众人脑子里猛然间想起一个伟大的人的伟大理论:工程控制论!

    哪怕是用不稳定的零部件,也可以制造可靠的系统。

    不求单项技术的先进性,只求总体技术的合理性,充分利用仅有资源,以总体设计,负责对各个分系统的技术协调,提升改造现有的工业技术!

    这光刻厂设想,就是工程控制论的再现!

    这真是一个天才的设想!

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